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札幌から世界への挑戦、DX推進で飛躍する最先端半導体の製造技術の現場に迫る

スマートフォンにPC、自動車など、生活を支える機器の多くに組み込まれている半導体。その製造装置を手掛けているのが、東京エレクトロン(以下、TEL)だ。世界でもトップクラスのシェアを誇る半導体製造装置メーカーだが、さらなる発展を遂げるべく、AIやIoT技術の活用に取り組んでいるという。半導体製造装置の製造に、どのように役立てるのだろうか。AI開発部の狐塚正樹さん、濱口翔喜さんに、TELの新たな取り組みと目指す未来を聞いた。

半導体製造作業の効率化のため推し進めるべき「AI開発」

国内の半導体製造装置メーカーでは、トップの売上を誇るTEL。高い利益率をキープするだけでなく、将来の成長を見据えFY’20から3年間で4,000億円の研究開発費を積極的に投資するなど、付加価値の高い技術を提供し続けているところが強みだ。近年はIoT、AI、5Gなどの情報通信技術が急速に広がり、半導体の需要が高まっていることも、追い風になっているという。

2020年11月にはソフトウエアの開発拠点である札幌事業所を移転し、新たに「TEL デジタル デザイン スクエア」を開設。社内外のエンジニアがコラボし、新たなイノベーションを促進する工夫が随所に施されたオフィスで、TELにおけるAI開発の重要拠点となる。

▲イノベーションを促進する工夫が随所に施された「TEL デジタル デザイン スクエア」

狐塚さん:「半導体製造装置メーカーでAI活用が注目されている背景には、半導体の微細化が限界に近づいているという現状があります。このため、AI・機械学習を活用し、大量のデータからこれまで気づかなかった有用な知識を得ることにより、より緻密な制御を実現しようとしています。」

濱口さん:「TELでは、AI活用に限らず、DXを推進しています。今でも半導体製造装置を製造する多くの現場では、エンジニアの手作業で解析が行われています。単純作業を自動化できれば、作業工数の改善につながるため、現場レベルでもDXは求められているのです」

半導体製造装置メーカーとしてAI開発やDXを推進することで、生産性や歩留まり(投入した素材量に対して、実際に生産された出来高の割合)の向上に貢献できるのだ。そのため、狐塚さん、濱口さんが所属するAI開発部では、最先端のアルゴリズムを半導体製造装置向けに応用展開するとともに、現場エンジニアのデータ解析をサポートするアプリケーションの開発なども進めている。

▲歩留まり低下の原因である、微細で複雑なパーティクル・形状は、かつて人の目に頼って分類していた。ディープラーニングによって識別することにより原因の特定・早期解決につながる

取り組みを進めるなかで、1つの課題が出てきているそう。「TELの半導体製造装置の開発、製造において、AIが活用されている」という認知が、世の中に広がっていないという現実だ。

狐塚さん:「TELでは、DX戦略を強力に推進しています。そのためにはデータサイエンティストの育成も重要なのですが、そもそもAI開発をしていることが知られていないので、優秀な人材に来ていただくことが難しいのです。認知を広げていく活動も必要なのではないかと、社内で検討しています」

濱口さん:「特にAI開発の分野は、採用が難しいと聞きます。何かしらノイズを起こして、1人でも多くの方にTELの事業内容を知ってもらい、興味を抱いてくれる人が増えたらいいなと思っています」

“半導体製造×AI”の可能性を感じてもらうイベント

ノイズ”の1つとして、TELは2020年11月に社会人向けのオンラインワークショップを開催した。参加者には事前に機械学習を用いた画像解析の課題が配布され、各自思いつく手法で解析を行い、ワークショップ当日は参加者同士でビジネス応用についてディスカッションするという内容。

濱口さん:「今回はデータ解析の経験のある方に参加してほしいという思いがあったので、事前課題を用意しました。また、当日は黙々と作業するのではなく、ディスカッションに時間を割きたいと考えていたので、今回の構成に落ち着きましたね」

狐塚さん:「課題の中身は同じ部署の者が作成したのですが、難易度をかなり意識しています。データ解析の経験がない人でもチャレンジできるレベルに設定しつつ、詳しい人はさらに発掘して解析できるオプション的な課題も入れました。半導体業界以外の方も、取り組みやすい内容だったのではないかと思っています」

ワークショップにはメーカーのエンジニアだけでなく、ITやコンサルティングなど、さまざまな業界から参加者が集まり、そのほとんどが事前課題に挑戦したうえで、当日に臨んだ。

濱口さん:「『画像解析の経験がないけど、チャレンジした』という方も数人いて、バラエティ豊かでしたね。アプローチも人それぞれで、画像解析の定石とは異なるアプローチで課題に取り組んだ方もいれば、自分で画像のデータ量を増やして取り組んだという方もおり、発見がたくさんありましたし、皆さんの柔軟な発想を見習いたいなと感じました」

▲ワークショップでの記念写真。当日はさまざまな業界、業種の方が参加した
狐塚さん:「ビジネス経験を積んできた方々が参加してくれたので、議論も進めやすく、私も知らなかった技術を知ることができて、貴重な機会になりました。『参加して良かった』という声も多くいただき、TELがAI開発を進めているということも、参加者の皆さんには認知していただけた感触があります」

今後はワークショップに加え、メディアなども通じてTELの事業を発信していきながら、人材確保や育成にも取り組み、AI開発の活性化を狙う。その第一歩を踏み出したところだ。

ワークショップ参加者の声

阿部田 将史さん(29歳/SIer勤務/データサイエンティスト)

「他業界でのデータ活用事例を知りたいと思い、参加しました。他社のエンジニアとの議論の場もあったので、新たな知識が得られるかもという期待もありましたね。チーム内には、私が知らないモデルを使った方や古典的手法の観点で挑戦した方がいて、勉強になったと感じています。事前課題があったことで、各々が作ったものを叩き台にして、『どう解析したんですか?』『なぜ、このモデルを使ったの?』と議論が深まりやすくなり、充実したワークショップでした」

「半導体業界を体感できるワークショップ」再び開催

事前課題が用意されていることで、参加者に共通認識が生まれ、初対面かつオンラインという状況でも白熱した議論が展開されたTELのワークショップ。今年も追加開催が確定している。
昨年と同様に課題が出されるワークショップが、2022年3月19日(土)に開催される。半導体業界でAIやデータサイエンスがどのように活用されているか、体感できる貴重な場といえるだろう。
半導体業界やAI開発への関心が高い方、自身のデータ解析技術を試したい方、さまざまな手法に触れてみたい方、少しでも興味があったらエントリーしてみてはいかがだろうか。
申込期限は、3月17日 (木) 12:00、集客状況によっては、早い段階でエントリーを締め切る可能性があるとのこと。興味がある方は早めにエントリーをしよう。


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開催概要

開催日程
2022年3月19日(土) 12:45受付開始 13:00スタート〜17:00終了予定予定
※イベントの時間は多少前後する可能性がございます
エントリー締め切り:3月17日 (木) 12:00予定(状況によっては、早めに受付終了する場合がございます)
開催場所
参加者の方に別途URLをご連携させて頂きます

ディスカッションさせていただきたい方

下記に1つでも当てはまる方、大歓迎!ぜひ気軽にエントリーください。

  • ~半導体に関する知見は一切不問!異業界の方歓迎!~
  • ・データ分析・機械学習・アルゴリズム構築に関わる経験をお持ちの方、もしくはそれに準ずるスキルをお持ちの方
  • ・画像認識、画像解析に関わる経験をお持ちの方、もしくはそれに準ずるスキルをお持ちの方
  • ※事前に画像データを配布し分析を行って頂く事で、当日はより多くの知見を得られる場とさせて頂く予定です。


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サンカクするまでの流れ

  • STEP1
    エントリー
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    確定のご連絡
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    ※採用広報があるかも
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    可能性があるかも!?
・定員を超えたお申込みをいただいた場合は、ご登録のプロフィール情報とエントリー時に入力いただく追加情報を元に、当日ご参加いただく方を選出いたします。あらかじめご了承ください。
・選出後、サンカク確定のご連絡をさせていただきます。
・当日のディスカッションを通して当社社員が興味をもった場合は、ディスカッション後にスカウトさせていただく可能性もございます。

皆さまのサンカクをお待ちしております!

注意事項

  • ・定員を超えたお申込みをいただいた場合は、ご登録のプロフィール情報とエントリー時に入力いただく追加情報を元に、当日ご参加いただく方を選出いたします。あらかじめご了承ください。
  • ・後日、ご登録のメールアドレスまたはサンカク上のメッセージでサンカク運営事務局より参加可否のご案内をお送りします。そちらをもって参加可否確定となります。
  • ・本イベントの運営に関しては、株式会社リクルートが代行いたします。


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